プラズマ溶射
 
黒木工業株式会社溶射グループでは溶射材料・溶射条件・クリーンな溶射環境にこだわり、大気プラズマ溶射において無限の可能性を秘めたコーティング膜を開発しました。超緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性・耐熱性を有し低コスト・高付加価値テクノロジーを提供いたします。
プラズマ溶射の構造と特徴
 プラズマ溶射
1 低温処理であり、殆どあらゆる材料上へ溶射可能
2 加熱溶融・軟化する材料であれば、殆どあらゆる材料の溶射が可能
3 プロセスが簡単であり、複雑形状部材や大型部材へも適用可
4 他の成膜プロセスに比べ、成膜速度が格段に大きく、厚膜も可能
5 作業が容易で、現場施工も可能であり、コストパフォーマンス大
6 ドライプロセスであり、有害廃液、排ガスのない環境に優しいプロセス

当社の設備
 溶射設備
・プラズマ溶射装置4台
・ブラスト装置4台
・真空炉1台
・乾燥炉1台
 品質管理用装置
・溶射状況解析装置(スプレーウォッチ):1台
 検査機
・粗さ測定器
・耐圧測定器
・三次元測定器(黒木Gr内)
プラズマ溶射の膜特性
例1Al203溶射皮膜
気孔率:3.6%(溶射条件により制御可能)
密着強度:10〜40MPa
純度:99.99%
例2Y203皮膜
気孔率:2.2%(溶射条件により制御可能)
密着強度:10〜40MPa
純度:99.99%
プラズマ溶射適用事例
品種 化学組成(mass%) 皮膜の特徴例 用途例
イットリア Y2O3 99。99 耐プラズマエロージョン特性,
耐食性
半導体製造装置
(チャンバーー部品)
アルミナ Al2O3 99.99 高純度,真っ白,
電気絶縁性
電気絶縁部品
半導体製造装置
(静電チャック)
グレーアルミナ Al2O3 - TiO2 2.5 アルミナに靭性を付与,
耐熱性,耐摩耗性,
電気絶縁性
電気絶縁部品
ポンプ部品
カーボントレイ
アルミナ
-チタニア
Al2O3 - TiO2 13 単体より耐摩耗性大,
研削性良好
半導体製造装置
(静電チャック)
ムライト Al2O3 - SiO2 22〜24 熱衝撃性,
高温での化学的安定性,
遠赤外線放射特性良好
中間層に使用(密着力が増し 熱的安定性が増す),遠赤外線用部品

*上記以外のセラミックス・金属、全般に対応いたします。
また、試作開発(溶射材試作−溶射皮膜開発−皮膜評価)から量産までを一貫して生産できる体制を整えています。
■ お問い合わせ
黒木工業株式会社  千葉工場  溶射G
TEL:0438-36-3738
FAX:0438-36-3740
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